A jahution jahutusveeseade, mis suudab tagada püsiva rõhu, püsiva temperatuuri ja pideva voolu. Selleks süstides veepaaki sobiv kogus vett, jahutades vett läbi jahutussüsteemi ja pumba abil jahutusvee transportimiseks seadmetesse, mida tuleb jahutada. Jahutusvesi võtab jahutusefekti saavutamiseks seadmetes soojuse ära. Vahesagedusseadmetesse lisatakse jahutusvett peamiselt selle kõrge sageduse ja suure voolu tõttu. Magnetroni pihustussihtmärgi kasutamisel tekitab see kõrge temperatuuri ja deformeerib püstolit, seega on püstoli jahutamiseks vaja veesärgi. Magnetronputrutamist võib öelda, et see on üks silmapaistvamaid saavutusi kattetehnoloogias. Selle eelised on hea kile-substraadi sidumisjõud, kõrge pihustuskiirus, madal substraadi temperatuuri tõus ja seadme hea stabiilsus. Jahutusseadmel on iseseisev veeringlussüsteem ja iseseisev jahutussüsteem, mida väliskeskkond ei mõjuta. Need funktsioonid koos tagavad usaldusväärse temperatuurikontrolli ja kõrgekvaliteedilised katmistulemused vaakum-ioonkatmisprotsessi jaoks.
Vaakum-ioonkatmismasinas oleva jahuti funktsioonid ja omadused hõlmavad järgmist:
1. Sihtmärgi jahutamine: vaakum-ioonkatmismasina sihtmärki kasutatakse metalliioonide genereerimiseks, kuid see tekitab katmisprotsessi ajal palju soojust. Jahuti jahutab sihtmärki kiiresti läbi tsirkuleeriva jahutussüsteemi, et säilitada sihtmärgi normaalne töötemperatuur, vältida seadmete ülekuumenemist, mis põhjustab rikkeid või vähendab katte kvaliteeti, ning tagab ioonide stabiilse väljundi.
2. Stabiilsuskontroll:jahutisuudab stabiilselt kontrollida seadmete temperatuuri, et tagada seadmete stabiilne töö normaalses töötemperatuuri vahemikus. See aitab säilitada katte konsistentsi ja stabiilsust, parandades katte kvaliteedi konsistentsi ja usaldusväärsust.
3. Kõrge täpsusega reguleerimine: jahuti tööparameetreid saab reguleerida vastavalt konkreetsetele nõuetele, sealhulgas jahutusvee temperatuuri, vooluhulka ja rõhku. See võimaldab jahutil pakkuda täpset temperatuuri reguleerimist vastavalt erinevatele katmisnõuetele, tagades katmisprotsessi stabiilsuse ja kõrge kvaliteedi.
3. Energiasääst: jahuti tõhus jahutusvõimsus ja täpne juhtimisfunktsioon aitavad vähendada energiatarbimist. Seadmete temperatuuri tõhusalt reguleerides saab vähendada täiendavat energiaraiskamist ja parandada energiakasutuse efektiivsust.
5. Keskkonnakaitse: jahuti kasutamine vaakum-ioonkatte masinas võib vähendada kahjulikku mõju keskkonnale. See kasutab jahutamiseks tsirkuleerivat vett, vähendab veetarbimist ning tekitab töö ajal madalamat müra ja vibratsiooni.
6.Keskkonnakontroll: jahuti kasutamine vaakum-ioonkatte masinas võib reguleerida ka ümbritseva õhu temperatuuri ja niiskust, et tagada hea töökeskkond. Sobiv ümbritseva õhu temperatuur ja niiskus võivad suurendada vaakumi astet, vähendada lisandite ja gaaside mõju ning parandada katte kvaliteeti.
Kokkuvõtlikult võib öelda, et kohaldaminejahutidvaakum-ioonkatmismasinates hõlmab paljusid aspekte, nagu jahutusobjektid, substraatide jahutamine, jahutusseadmed ja keskkonnakontroll, seadmete ja toorikute temperatuuri kontrolli tagamine katmisprotsessi ajal, katte kvaliteedi ja tootlikkuse parandamine.